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반도체 진공펌프 및 전기.전자 반도체/LCD 전문

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비소모성 PARTS 국산화 (EDWARDS Q-SERIES)

NEW TYPE-Ih80, 600,
1000, 1800


  • Repair kit #1

  • Repair kit #2

  • Sleeve & inner ring

  • Claw rotor

  • H/V rotor

  • Timing gear

A & AA TYPE-30W, 70W,
S72, 400BP
& A150W,
A300W-T/M major parts

SERVICE KIT
LIST (EBARA A-SERIES
Maintenance kit)


MAJOR PARTS
국산화